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薄膜沉积控制仪的结构介绍
发布时间2017/11/27 9:50:23 阅读次数:85次

    薄膜沉积控制仪的输入端口可采集高低电平、电压、电流等信号,同时端口还复用输出资源,输出为DOH,3A,可直接驱动电磁阀,该产品还具有高防护等级、小体积、高集成度、高响应速度等优点。在没有流体流经流量管时,流量管由安装在流量管端部的电磁驱动线圈驱动,其振幅小于1mm,频率约为80Hz,流体流入流量管时被强制接受流量管的上下垂直运动。在流量管向上振动的半个周期内,流体反抗管子向上运动而对流量管施加一个向下的力;反之,流出流量管的流体对流量管施加一个向上的力以反抗管子向下运动而使其垂直动量减少。这便导致流量管产生扭曲,在振动的另外半个周期,流量管向下振动,扭曲方向则相反。

 

    由于温度影响流管钢性,科氏力产生的扭曲量也将受温度影响。被测量的流量不断由变送器调整,后者随时检测粘在流管外表上的铂电阻温度计输出。变送器用一个三相的电阻温度计电桥放大电路来测量传感器温度,放大器的输出电压转化成频率,并由计数器数字化后读入微处理器。每一台传感器生产好后振动管本身的质量就确定了,薄膜沉积控制仪的振动管中介质的质量是介质密度与振动管体积的乘积,而振动管的体积对每种口径的传感器来说是固定的,因此振动频率直接与密度有相应的关系,那么,对于确定结构和材料的传感器,介质的密度可以通过测量流量管的谐振频率获得,抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但要考虑清洗清扫的方便性。

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